按供气气源，臭氧发生器分为空气型和氧气型。空气型以干燥洁净的压缩空气为原料；氧气型以工业氧气或现场制氧为原料。两种方式各有利弊，客户可以根据自己的情况进行选择。
臭氧发生系统主要由空压机、空气储罐、冷干机、吸附式干燥机及臭氧发生器组成；空压机为臭氧制备提供氧，空气储罐在系统中起到稳定气压的作用，冷干机除去压缩空气的水分，减小吸附式干燥机负荷，延长吸附式干燥机耗材使用寿命。
空气处理系统由空气压缩机、冷冻式干燥机、吸附式干燥机、空气过滤器等组成，处理后的气源指标：露点≤-50℃，粉尘<0.01um，含油量<0.01ppm。
吸附式干燥机是应用变压吸附原理和无热再生方法对压缩空气进行干燥的一种除湿净化装置，属于深度除水。
吸附式干燥机采用双塔结构，一塔在一定的压力下吸附空气中的水分，另一塔用稍高于大气压的一小部分干燥空气使吸附塔内的干燥剂再生，经过一定时间两塔切换，干燥压缩空气的连续供应。在正常操作条件下，经处理的空气露点可降到-50℃以下。
研制生产的深度干燥吸附式干燥机吸附塔采用三段式结构，分别填装活性氧化铝、吸附硅胶和吸附分子筛，控制器采用PLC，干燥采用无热再生的方式进行空气干燥。
随着水质标准的提高和水源水质的恶化，要去除水中的污染物，除强化常规处理外，还需增加臭氧预处理工艺和臭氧—活性炭深度处理工艺。目前，臭氧—活性炭工艺在我国新建的市政给水厂取得广泛应用，是已被证明的实现新的生活饮用水标准的主流工艺。此外，我国的一些老水厂，其处理工艺及构筑物均参照建设年代的水质标准设计，已难以达到新的水质标准，需采用臭氧—活性炭深度处理工艺进行升级改造。
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