臭氧发生器常用的气源大体可分为下列几种:

1)干燥气源——无油压缩空气经冷却、干燥、过滤后作为原料气；
2)富氧源无油压缩空气经冷干处理后送入变压吸附空分系统，分离氮气和氧气，
收集氧气作为原料气(这种原料气含有惰性气体和二氧化碳，以及少量氮，不是纯氧，因此被称为富氧源)；
3)工业氧源——通常使用瓶装工业氧(多适用于小型臭氧发生器)；
4）液氧——液态氧在汽化器汽化减压后作为原料气送入臭氧发生器(通常用于较大规模的装置。

    臭氧（O3）是氧的高能态存在形式，无色，有特殊臭味，极不稳定，具有奇特的强氧化性,可以有效的去除氮氧化物、二氧化硫、氯氟有机物等，同时可以灭菌、去污、漂白、除臭等，臭氧的分解化学物质的过程中还原成(O2)或生成水(H2O)，不产生二次污染。在自然界中，主要由雷电所产生，它是"天赐的净化剂"。
　由于臭氧的这种净化特性，采用人工的臭氧发生器使得臭氧在水处理行业得到了广泛的应用。臭氧在水中对细菌、病毒等微生物杀灭率高、速度快，对有机化合物等污染物质去除而又不产生二次污染，因此饮用水杀菌消毒是臭氧应用的主要部门，自来水行业是臭氧的市场。
　除了在水处理方面的应用，臭氧还能有效的治理氮氧化物污染，而且是无催化剂，无还原剂，的循环清洁工艺。臭氧脱除氮氧化物已经在FCC（石油化工的催化裂化）得到了广泛的应用，是具有零吸收剂，零催化剂，的*清洁工艺。臭氧的氧化能力，臭氧的氧化还原电位仅次于氟，比过氧化氢、等都高。此外，臭氧的反应产物是氧气，所以它是一种高效清洁的强氧化剂。