臭氧可以分解难降解的有机物，提高污水的可生化性，杀灭抗氯性强的细菌和病毒，同时具有脱色、除臭的功效，并且可以增加水中溶解氧，改善水质。
臭氧发生器有空气源、氧气源、风冷式、水冷式几种规格，臭氧产量有300g/h-50kg/h，配置不同，臭氧产量不同，价格差别很大，使用哪种规格的水处理臭氧设备，需要根据每天的水处理量和要达到的处理标准计算得出。
在工业污水、生活污水及医院污水上的应用工业上几乎都用电晕放电法来制取臭氧，这样生产出来的臭氧适用于初步处理含烷基苯磺酸钠、焦油、COD、BOD、污泥、氨氮等污染物的污水，还适用于处理含Fe2+、Mn2+、氰、酚、亲水性染料、细菌等污水。 由于水资源愈来愈紧张，工业及城市生活污水处理后经常回用，这就需要提高污水的处理标准。利用臭氧对水进行深度处理，可除掉水中各种杂质，从而达到回用标准。臭氧处理医院污水可消毒灭菌。若采用臭氧处理医院污水，可截断传染源，免除后顾之忧。并且臭氧在几分钟之内可以将病毒全部杀死，比当量氯快200～3000倍。城市污水处理系统工程也已经开始使用大型臭氧发生器进行杀菌消毒除味脱色处理。在循环冷却水和锅炉给水中的应用在循环冷却水中，需对水进行深度处理，臭氧可以除去形成污垢的杂质，防止阻塞管道。
