1902年，一座采用臭氧处理工艺的大型水厂在德国帕德博恩建立，目前臭氧工艺在欧美日等发达国家已得到广泛应用，净化后的自来水可供直接饮用； 1937 年，世界上一座使用臭氧处理的商业游泳池在美国启用，目前臭氧已成为水中竞赛项目的水质消毒方式。
臭氧发生器是氧气通过介质阻挡放电产生臭氧所必需的装置，由臭氧电源、臭氧发生室、冷却装置、仪器仪表等组成。臭氧电源是为臭氧物理合成提供高压和能源的电气装置，主要包含整流、逆变、升压单元及电源控制系统；臭氧发生室是由单组或多组臭氧发生单元组成的装置，是氧气通过高压电晕放电转化为臭氧的场所。 臭氧发生器是臭氧系统*核心的装置，与气源装置、接触反应装置、尾气处理装置、检测控制仪表等共同组成一套完善的臭氧系统。
臭氧发生器的分类介绍：
按每小时产生臭氧量， 臭氧发生器分为小型（5g/h～100g/h） 、 中型（>100g/h～1000g/h）和大型（>1kg/h）。
按臭氧发生单元的结构形式，臭氧发生器分为管式和板式。目前，工业应用普遍采用管式臭氧发生器。
按介质阻挡放电的频率， 臭氧发生器分为工频（50Hz、 60Hz） 、 中频（100Hz～1000Hz）和高频（>1000Hz）。工频臭氧发生器放电所需的电压高，臭氧出气浓度低，体积大，效率低，目前处于逐步淘汰的阶段。
按供气气源，臭氧发生器分为空气型和氧气型。空气型以干燥洁净的压缩空气为原料；氧气型以工业氧气或现场制氧为原料。
按冷却方式，臭氧发生器分为水冷却和空气冷却，用于水处理、烟气处理等领域的大型臭氧发生器多为水冷却；用于空气消毒、果蔬保鲜等领域的小型臭氧发生器多为空气冷却。
